InsightScan-202

 

  スキャン範囲      Size: 200 x 150 mm
  0.1 µm 分解能
  フォーカス軸   Range: 50 mm
  0.1 mm 分解能
  駆動方式   X軸 リニアサーボモーター
  Y軸 ステップモーター
 Z軸 ステップモーター
  装置サイズ   495 x 386 x 450 mm (W x D x H)  
  重  量   31 kg / 68.3 lbs (制御部を含む)

 

 特徴

  • 新設計のローノイズ・リニアサーボモーターをスキャン軸に使用
  • 500mm/sec での高速スキャン
  • 低振動、超低速でのデータ収集も可能
  • 最少分可能0.1ミクロンの高精度ステージ
  • 取外し可能な透過法ユニットは、小型ながらあらゆる検査手法を実現
  • 小型タンクは簡単に取外しが可能
  • 超音波水浸法以外の用途にも使用可能